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真空管式气相沉积炉
  • 产品名称:

    真空管式气相沉积炉

  • 产品简介:HY真空管式气相沉积炉主要为应用在半导体,石墨烯、纳米材料、碳纤维、碳化硅、镀膜等新材料新工艺领域
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产品介绍:

※产品用途:
 HY真空管式气相沉积炉主要为应用在半导体,石墨烯、纳米材料、碳纤维、碳化硅、镀膜等新材料新工艺领域。
 ※产品结构:   
1、可通入多种气体,配100ml混气罐;
2、炉体采用不锈钢密封法兰(铰链结构),耐高温、耐腐蚀;
3、保护管采用高纯刚玉管 ,气管采用卡套或VCR接口,安装方便;
5、炉体采用双层空气隔热技术,配有自动冷却风扇,降低炉体外壳温度;
6、控制系统采用进口40段程序控温,控温精度±1℃,移相触发、可控硅控制;
7、真空系统6.67pa(机械泵)或6.67pa×10-3pa(扩散泵机组)
8、选配无纸记录仪,记录、存储、显示当前或历史温度曲线,也可通过U盘转存入电脑。
8、选配虹约智能温控软件,通过电脑进行全程监控和操作;
        技术参数    
型号规格 单位 CVD14-50HY CVD14-60HY CVD14-70/80HY CVD14-90HY CVD14-100HY
额定功率 KW 6 6 6 6 6
额定电压 V 220V 220V 220V 220V 220V
最高温度 1400 1400 1400 1400 1400
工作温度 ≤1350 ≤1350 ≤1350 ≤1350 ≤1350
加热区 mm 350 350 350 350 350
恒温区 mm 200 200 200 200 200
炉管直径、长度 mm φ50/1200 φ60/1200 φ80/1200 φ90/1200 φ100/1200
真空度 pa 10p或6*10-3pa 10p或6*10-3pa 10p或6*10-3pa 10p或6*10-3pa 10p或6*10-3pa
气体通道   三路 三路 三路 三路 三路
流量计种类   质量流量计 质量流量计 质量流量计 质量流量计 质量流量计
A SCCM 0-100 0-100 0-100 0-100 0-100
B SCCM 0-150 0-150 0-150 0-150 0-150
C SCCM 0-200 0-200 0-200 0-200 0-200
混气罐 V 100ML 100ML 100ML 100ML 100ML
炉膛材料   陶瓷纤维 陶瓷纤维 陶瓷纤维 陶瓷纤维 陶瓷纤维
加热元件   硅碳棒 硅碳棒 硅碳棒 硅碳棒 硅碳棒
控温精度 ±1℃ ±1℃ ±1℃ ±1℃ ±1℃
外形尺寸 860*580*1600 860*580*1600 860*580*1600 860*580*1600 860*580*1600
标配件   炉勾 堵头 石英舟 内六角扳手 高温手套
选配件   无纸记录仪 多段智能温控仪表 扩散泵    

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