- 产品名称：
真空管式气相沉积炉
- 产品简介：HY真空管式气相沉积炉主要为应用在半导体,石墨烯、纳米材料、碳纤维、碳化硅、镀膜等新材料新工艺领域
- 联系方式：
产品介绍：
※产品用途：
HY真空管式气相沉积炉主要为应用在半导体,石墨烯、纳米材料、碳纤维、碳化硅、镀膜等新材料新工艺领域。
※产品结构：
1、可通入多种气体，配100ml混气罐;
2、炉体采用不锈钢密封法兰（铰链结构），耐高温、耐腐蚀；
3、保护管采用高纯刚玉管 ，气管采用卡套或VCR接口，安装方便；
5、炉体采用双层空气隔热技术，配有自动冷却风扇，降低炉体外壳温度；
6、控制系统采用进口40段程序控温，控温精度±1℃，移相触发、可控硅控制；
7、真空系统6.67pa(机械泵)或6.67pa×10-3pa(扩散泵机组)
8、选配无纸记录仪，记录、存储、显示当前或历史温度曲线，也可通过U盘转存入电脑。
8、选配虹约智能温控软件，通过电脑进行全程监控和操作；
| 技术参数 | ||||||
| 型号规格 | 单位 | CVD14-50HY | CVD14-60HY | CVD14-70/80HY | CVD14-90HY | CVD14-100HY |
| 额定功率 | KW | 6 | 6 | 6 | 6 | 6 |
| 额定电压 | V | 220V | 220V | 220V | 220V | 220V |
| 最高温度 | ℃ | 1400 | 1400 | 1400 | 1400 | 1400 |
| 工作温度 | ℃ | ≤1350 | ≤1350 | ≤1350 | ≤1350 | ≤1350 |
| 加热区 | mm | 350 | 350 | 350 | 350 | 350 |
| 恒温区 | mm | 200 | 200 | 200 | 200 | 200 |
| 炉管直径、长度 | mm | φ50/1200 | φ60/1200 | φ80/1200 | φ90/1200 | φ100/1200 |
| 真空度 | pa | 10p或6*10-3pa | 10p或6*10-3pa | 10p或6*10-3pa | 10p或6*10-3pa | 10p或6*10-3pa |
| 气体通道 | 三路 | 三路 | 三路 | 三路 | 三路 | |
| 流量计种类 | 质量流量计 | 质量流量计 | 质量流量计 | 质量流量计 | 质量流量计 | |
| A | SCCM | 0-100 | 0-100 | 0-100 | 0-100 | 0-100 |
| B | SCCM | 0-150 | 0-150 | 0-150 | 0-150 | 0-150 |
| C | SCCM | 0-200 | 0-200 | 0-200 | 0-200 | 0-200 |
| 混气罐 | V | 100ML | 100ML | 100ML | 100ML | 100ML |
| 炉膛材料 | 陶瓷纤维 | 陶瓷纤维 | 陶瓷纤维 | 陶瓷纤维 | 陶瓷纤维 | |
| 加热元件 | 硅碳棒 | 硅碳棒 | 硅碳棒 | 硅碳棒 | 硅碳棒 | |
| 控温精度 | ℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ |
| 外形尺寸 | ℃ | 860*580*1600 | 860*580*1600 | 860*580*1600 | 860*580*1600 | 860*580*1600 |
| 标配件 | 炉勾 | 堵头 | 石英舟 | 内六角扳手 | 高温手套 | |
| 选配件 | 无纸记录仪 | 多段智能温控仪表 | 扩散泵 |
